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高精度非球面和自由形狀表面磨床
ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度車(chē)削和研磨自由形狀表面(fθ 透鏡)和非球面透鏡及其各自的模具。另外,機(jī)床結(jié)構(gòu)和選件可用于各種應(yīng)用,具有較高的性價(jià)比。
一、應(yīng)用
二、功能
1、高精度空氣靜力軸承主軸(研磨主軸、工作主軸)
(1)精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性,還實(shí)現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸:20nm/SPAM
工作主軸:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過(guò)“單點(diǎn)異步誤差運(yùn)動(dòng)”方法測(cè)量
(2)考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面,多孔限流器大大減少了空氣消耗,本公司根據(jù)慣例實(shí)現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量,因此,利于節(jié)能減排。
2、高精度滾針V-V導(dǎo)軌
(1)高可重復(fù)性,高加工效率
低摩擦力導(dǎo)軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥,對(duì)納米范圍進(jìn)給速率響應(yīng)度高,消了逆向進(jìn)給的延遲。該導(dǎo)軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導(dǎo)軌,但精度能保持相似。
(2)考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒(méi)有靜態(tài)導(dǎo)軌常見(jiàn)的流體溫度波動(dòng),以保穩(wěn)定的精度,同時(shí)無(wú)需使用液壓裝置之類(lèi)的設(shè)備,即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
3、軸驅(qū)動(dòng)技術(shù)
(1)優(yōu)化的設(shè)計(jì)
在考慮性價(jià)比的前提下,針對(duì)每種機(jī)器類(lèi)型和軸優(yōu)化設(shè)計(jì)了滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
(2)考慮高精致加工
通過(guò)采用滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),我們開(kāi)發(fā)并利用耦合器,解決了滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)所造成的常見(jiàn)應(yīng)力和振蕩問(wèn)題。
三、主要規(guī)格
(1)車(chē)床
型號(hào)
ULC-100D(S)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
Y 軸 (mm)
25
Z 軸 (mm)
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進(jìn)給速率(mm/min)
X、Z:500
Y: 300
工作主軸
旋轉(zhuǎn)速度
(min-1)
0-1500
真空吸盤(pán)直徑 (mm)
π100
C 軸功能
——
研磨主軸速度 (min-1)
——
B 軸車(chē)削工作臺(tái)
進(jìn)給速率(度/分鐘)
——
編程分辨率(度)
——
軸結(jié)構(gòu),括號(hào) () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸
可選配件
噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對(duì)稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等
(2)車(chē)削和研磨機(jī)床
型號(hào)
ULG-100E(HY)
ULG-100D(HYS)
ULG-100D(HYB)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
300
300
Y 軸 (mm)
20
25
25
Z 軸 (mm)
150
150
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進(jìn)給速率(mm/min)
X、Z:500
Y: 300
工作主軸
旋轉(zhuǎn)速度(min-1)
0-1500
真空吸盤(pán)直徑 (mm)
π100
C 軸功能
配件
標(biāo)配
研磨主軸速度 (min-1)
5000-40000
10000-60000
B 軸車(chē)削工作臺(tái)
進(jìn)給速率(度/分鐘)
——
0-1080
編程分辨率(度)
——
0.0001
軸結(jié)構(gòu),括號(hào) () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸(C軸)
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸
可選配件
冷卻劑供應(yīng)裝置、噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對(duì)稱非球面表面加工軟件、非對(duì)稱非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、集霧器等
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對(duì)稱非球面表面加工軟件。
(3)自由形狀表面車(chē)削和研磨機(jī)床
型號(hào)
ULG-100D(H3)
ULG-100D(5A)
直線行程軸
X 軸 (mm)
300
450
Y 軸 (mm)
100
100
Z 軸 (mm)
150
150
編程分辨率 (nm)
1
最大進(jìn)給速率(mm/min)
X 軸、Z 軸、Y 軸: 500
工作主軸
旋轉(zhuǎn)速度(min-1)
0-1500
真空吸盤(pán)直徑 (mm)
π100
C 軸功能
標(biāo)配
研磨主軸速度 (min-1)
5000-40000
10000-60000
B 軸車(chē)削工作臺(tái)
進(jìn)給速率(度/分鐘)
——
編程分辨率(度)
——
軸結(jié)構(gòu),括號(hào) () 中的軸是配件。
X 軸,Y 軸,Z 軸、C軸
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸
可選配件
冷卻劑供應(yīng)裝置、噴霧冷卻劑供應(yīng)裝置、刀具架、對(duì)稱非球面表面加工軟件、非對(duì)稱非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等